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半導體SEMI認證

SEMI簡(jiǎn)介

SEMI是半導體設備與材料的國際性組織(Semiconductor Equipment and Materials International )的簡(jiǎn)稱(chēng),成立于1970年,總部位于美國加州,是半導體工業(yè)的全球執行聯(lián)盟。

SEMI下屬的安全工作小組為了降低機械危害的風(fēng)險,制定了一套適用于半導體及顯示器材料和制造設備的全球性標準和法規,成為半導體業(yè)界對設備系統的必備的規格要求。

SEMI標準中有材料(M系列) 、設備(F系列)、平板顯示器(D系列)、跟蹤性(T系列) 等,環(huán)境? 健康? 安全(EHS) 由S系列規定。


SEMI S2認證簡(jiǎn)

SEMI S2認證是針對制程設備供貨商所規范的基本健康和安全要求安全標準,符合SEMI S2不僅符合了國際相關(guān)規定,也是半導體產(chǎn)業(yè)的公司所要求的必要條件之一。

SEMI S2認證以效能考量為主,涵蓋半導體制造設備的環(huán)境、健康及案件條件.具體來(lái)說(shuō),該標準涉及電氣、機械、防火、化學(xué)、輻射、噪音和防震等各方面的安全領(lǐng)域,代表了半導體廠(chǎng)家的基本安全要求。
與其他SEMI指令相比,例如,SEMI S8(人體工學(xué)要求)和SEMI S10(風(fēng)險評估)一起使用,SEMI S2代表了半導體廠(chǎng)家的基本安全要求。過(guò)去半導體業(yè)者為了降低機械危害的風(fēng)險,采取非常多類(lèi)別的防制與管理措施,其中最典型的措施是在采購設備系統時(shí),即將SEMI S2安規認證列為必備的規格要求。


SEMI系列常見(jiàn)標準

SEMI S1 - Safety Guideline for Visual Hazard Alerts 裝置安全標簽

SEMI S2 - Safety Guidelines for Semiconductor Manufacturing Equipment 半導體生產(chǎn)裝置的環(huán)境、健康、安全

SEMI S3 - Safety Guidelines for Heated Chemical Baths 熱化學(xué)槽的安全性

SEMI S4 - Safety Guideline for the Segregation/ Separation of Gas Cylinders Contained in Cabinets 櫥柜收納高壓氣筒的隔離/分離

SEMI S5 - Safety Guideline for Flow Limiting Devices 流量限制設備

SEMI S6 - Safety Guideline for Ventilation 換氣

SEMI S7 - Safety Guidelines for Environmental,Safety and Health Evaluation of Semiconductor Manufacturing Equipment 半導體生產(chǎn)裝置的環(huán)境、健康、及安全性(ESH)評價(jià)

SEMI S8 - Safety Guidelines for Ergonomics/Human Factors Engineering of Semiconductor Manufacturing Equipment 半導體生產(chǎn)裝置的人機工程學(xué)

SEMI S9 - Electrical Test Methods for Semiconductor Manufacturing Equipment 半導體生產(chǎn)裝置的電氣設計驗證試驗

SEMI S10 - Safety Guideline for Risk Assessment 風(fēng)險核查

SEMI S11 - Environmental, Safety, and Health Guidelines for Semiconductor Manufacturing Equipment Minienvironments 半導體生產(chǎn)裝置的小環(huán)境的環(huán)境、安全性及健康

SEMI S12 - Guidelines for Equipment Decontamination 裝置的去污

SEMI S13 - Safety Guidelines for Operation and Maintenance Manuals Used with Semiconductor Manufacturing Equipment 半導體生產(chǎn)裝置的操作及維護手冊

SEMI S14 - Safety Guidelines for Fire Risk Assessment and Mitigation for Semiconductor Manufacturing Equipment 對半導體生產(chǎn)裝置的火災風(fēng)險評估和降低

SEMI S15 - Safety Guidelines for the Evaluation of Toxic and Flammable Gas Detection Systems 有毒及易燃氣體的檢測系統評價(jià)

SEMI F47 - Voltage Sag Standard 電壓瞬變能力規范


SEMI S2認證辦理

沃證是專(zhuān)業(yè)的SEMI認證技術(shù)服務(wù)機構,資深工程師為您解讀SEMI S2認證技術(shù)要求,一站式服務(wù),歡迎咨詢(xún)。

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